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浏览器自带分享功能也很好用哦~产品详情
产品特点：
1、一体式人机操作系统，连续式自动化生产，工作效率高，节约人工成本、电能及工艺时间。
2、陶瓷翅片加热器，环形四周加热；
3、极限真空度：≤10pa（可选）；氧含量指标：常温下≤50ppm;高温下≤30ppm（可选）
4、优质不锈钢材质，表面经物理及化学抛光处理，确保洁净度。
技术参数
| 处理产品 | 8/12inch 晶圆 | 处理量 | 50PCS/管26PCS/管 | |||
| 加热器 | 陶瓷翅片加热器，环形四周加热 | |||||
| 上料口 | 2002/3/4 | 机械手 | 1月2日 | |||
| 温度范围 | 长期使用温度: 300℃，最高温度：350℃ | |||||
| 升温速率 | ＜8℃/min | 降温速率 | ＜3℃/min | |||
| 加热功率 | 13kW(单炉) | 加热温区 | 4个 | |||
| 炉温均匀性 | ±2%℃（200℃恒温） | 控温热偶 | K分度 | |||
| 温度控制方式 | SSR | 程序控制 | P.I.D控制 | |||
| 气氛控制 | 多路流量计调节进气,流量计量程：0-150L/min | 气氛 | N2 | |||
| 排气系统 | 在顶部设置排气烟囱，用于废气排放,回收 | |||||
控制系统
*人机界面采用触摸屏方式
*核心控制器采用嵌入式控制器
*超温保护为独立检测器件
*具有氧含量检测功能
*运动控制为伺服/步进控制单元
*传输为专业晶元传输机器人
*软件具有功能：温度控制,气氛控制,工艺编辑,数据记录,图表显示
产品详情
产品特点：
1、一体式人机操作系统，连续式自动化生产，工作效率高，节约人工成本、电能及工艺时间。
2、陶瓷翅片加热器，环形四周加热；
3、极限真空度：≤10pa（可选）；氧含量指标：常温下≤50ppm;高温下≤30ppm（可选）
4、优质不锈钢材质，表面经物理及化学抛光处理，确保洁净度。
技术参数
| 处理产品 | 8/12inch 晶圆 | 处理量 | 50PCS/管26PCS/管 | |||
| 加热器 | 陶瓷翅片加热器，环形四周加热 | |||||
| 上料口 | 2002/3/4 | 机械手 | 1月2日 | |||
| 温度范围 | 长期使用温度: 300℃，最高温度：350℃ | |||||
| 升温速率 | ＜8℃/min | 降温速率 | ＜3℃/min | |||
| 加热功率 | 13kW(单炉) | 加热温区 | 4个 | |||
| 炉温均匀性 | ±2%℃（200℃恒温） | 控温热偶 | K分度 | |||
| 温度控制方式 | SSR | 程序控制 | P.I.D控制 | |||
| 气氛控制 | 多路流量计调节进气,流量计量程：0-150L/min | 气氛 | N2 | |||
| 排气系统 | 在顶部设置排气烟囱，用于废气排放,回收 | |||||
控制系统
*人机界面采用触摸屏方式
*核心控制器采用嵌入式控制器
*超温保护为独立检测器件
*具有氧含量检测功能
*运动控制为伺服/步进控制单元
*传输为专业晶元传输机器人
*软件具有功能：温度控制,气氛控制,工艺编辑,数据记录,图表显示
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