产品特点:
自动烤箱是一款多腔室的全自动烘箱设备,能兼容晶圆作业及传统封装行业,设备采用多层设计,
结构紧凑,烤箱门可实现自动开闭,可外置AGV机器人进行烤箱自动上下料,从而实现烤箱全自动作业。
产品性能:
●高温、高洁净度、均匀降温等;
●工艺温度:室温+30-300℃。
产品特点:
自动烤箱是一款多腔室的全自动烘箱设备,能兼容晶圆作业及传统封装行业,设备采用多层设计,
结构紧凑,烤箱门可实现自动开闭,可外置AGV机器人进行烤箱自动上下料,从而实现烤箱全自动作业。
产品性能:
●高温、高洁净度、均匀降温等;
●工艺温度:室温+30-300℃。
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