技术指标：

1、 无尘等级：Class100：（符合FED-STD 209E标准：0.3um≤300个）

2、温度范围：+30℃～ +250℃（极限温度300℃）

3、温度均匀性：±2%℃（空箱测试）

4、温度精确度：±1℃（空箱测试）

箱体结构：

1、烘箱总体由箱体部分，电气控制柜部分，电加热部分，风道部分，

尘埃物过滤部分，N2 进气排气及风冷部分等组装而成，结构合理。

2、外箱材料:外箱采用SS41#中碳钢板经磷酸皮膜盐处理后两层防光面涂装烤漆,可防

止微尘，内胆材料：采进口SUS304#2mm不锈钢板全周氩焊,并经碱性苏打水清洁,有效的防止了机台本身灰尘的产生。

3、保温材料：采用中央玻璃纤维公司出品的100K级高密度保温板填充，有效的防止了热能浪费。

4、电热部分：采用进口覆套式电热器（SHEATHED HEATER）无尘无氧化电热发生器。

5、风道部分：整体结构采用了水平送风的方式由左向右送风后经美国进口H.E.P.A(特殊风道设计),过滤效果可达99.995%,Class100。